分解能1nmの高精度三次元形状測定装置

	白色光源の採用で低ノイズ且つ分解能1nmと高精度測定
	Nipkowディスクを使った高速測定
	簡単なアライメントでその場で測定可能

μSurfは白色光源から照射されたコリメート光は、Nipkowディスク（30万個のピンホールがあるディスク）を通り、対物レンズによって測定対象物上で結像します。測定対象物からの反射光は、Nipkowディスクと通ってデテクターに受光します。この時、測定対象物で焦点が合っていない場合、ピンホール上でも焦点が合わないためデテクターには結像しません。この原理を応用し、対物レンズを上下に精密駆動させることで、高さ情報を得て、且つNipkowディスクを回転させることで、無数の点光源とピンホールを作り出し、高速な形状測定を実現しています。