分解能2nmの高精度三次元形状測定装置

	LED光源により長寿命を保証
	表面粗さ形状、厚み等を瞬時に測定
	自動レポート作成機能
	２次元、３次元の国際的評価方法を採用
	Z軸分解能：最大２nm

μSurf Explorerは白色光源から照射されたコリメート光は、Nipkowディスク（30万個のピンホールがあるディスク）を通り、対物レンズによって測定対象物上で結像します。測定対象物からの反射光は、Nipkowディスクと通ってデテクターに受光します。この時、測定対象物で焦点が合っていない場合、ピンホール上でも焦点が合わないためデテクターには結像しません。この原理を応用し、対物レンズを上下に精密駆動させることで、高さ情報を得て、且つNipkowディスクを回転させることで、無数の点光源とピンホールを作り出し、高速な形状測定を実現しています。