高速オートフォーカス機構を採用した高速三次元形状測定装置で、非接触の粗さ測定に最適

	10KHｚの高速応答性
	1.5μｍの微小スポット
	25nmの高分解能で、広いダイナミックレンジ

レーザーダイオードから照射された光は対物レンズを通り測定面に１.5μmのスポットで集光されます。測定面から反射された光は４分割ディテクターに照射され、対物レンズ制御回路によってフォーカス位置を検出し、その位置に対物レンズを駆動させます。そのフォーカスされた時の対物レンズの位置をデジタルスケールで読み取りZ軸の高さ情報を高速に得ることができます。このZ値と精密に制御されたＸＹステージ位置情報によって３次元形状を測定します。