微小スポットな三次元形状測定装置で、BGAやソルダーペーストなどのコプラナリティー測定に最適

	1.5μmの微小スポット
	高分解能でありながら広い測定レンジ
	ビジュアルベーシックによる自動測定・自動解析ソフトウエアの容易に作成可能

ピンホールを通ったレーザー光は、対物レンズによって測定対象物に集光します。高速に上下に対物レンズを可動させ、レーザー光が測定対象物に合焦する時のみ、デテクター前のピンホールを通過した最大の光強度となります。その時の対物レンズの位置を検出することで、高さ情報を得ることができます。このセンサは特殊な対物レンズ駆動ユニットを採用することで、この方式の弱点だったリニアリティーを改善しました。