非接触三次元表面形状測定装置
ロングレンジ三次元形状測定システム μ Scan-Conoprobe

広い測定レンジで且つ最大80°までの急勾配が測定可能なロングレンジ3次元形状測定装置

特 徴

▲ 最大70mmの広い測定レンジ
▲ 80°の急傾斜でも測定可能
▲ 対物レンズの交換で最適な条件で測定可能


μScan-Conoprobe
原 理

光源からの光は、測定対象物に垂直に投影され、その反射拡散光は光学結晶内部で直交する2軸の直線偏光に分かれます。この光は光学結晶をそれぞれ違う速度で伝播しますので、光学結晶から出た光が再び結合することで、CCD上では測定対象物までの距離情報を含んだ干渉縞が発生します。この干渉縞のフリンジ間隔を検出することで距離情報の測定が可能となります。また2方向に偏光された光は、ほぼ2等分されているため再結合された偏光状態がよく、測定対象物からの反射光の強弱による影響を低減させています。

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解説図
仕 様
測定方式
同軸干渉方式
測定レンジ
X=100mm、Y=100mm、Z=1.8~70mm(長ストロークのX/Yステージも対応可能)
繰返し再現性
0.4μm~15μm
精 度
3μm~25μm
許容傾斜角
±80°
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