波長共焦点法により透明体形状と厚みを片側から測定できる小型白色変位計 10nmの高分解能を実現 微小スポットサイズのプローブを採用 小型プローブの採用で装置への組込みも容易 豊富なプローブ種類を容易 3D形状測定装置（μシリーズ）としての提供も可能

コントローラ内部に白色光源・波長解析モジュール・マイクロプロセッサを搭載し、光源からの光はファイバーを通りプローブによって集光し、測定物に照射されます。測定物から反射された光から波長解析モジュールによって共焦点算出し、距離を算出します。CHR-150は光源・検出器をコントローラ内部に配置することで、超小型変位センサモジュールを実現しておりますので、自動検査装置など多チャンネルのセンサモジュールでの計測でも低コストでご利用いただけます。