光学製品ソリューション

nanofocus社 μシリーズコンフォーカル三次元顕微鏡システム μSurf custom

µsurf custom

  • 頑丈で信頼性が高い
  • 完全自動
  • 柔軟性のあるハードウェアとソフトウェア
  • 僅か数秒で測定
  • 測定分野の拡大可能
  • 三次元測定実データ

お客様の要件に基づいてカスタマイズされた三次元測定システム

µsurf customの生産ラインは、測定の質、利便性や柔軟性等の厳しい要求に対応。ナノメートル・ソリューションは、小さな物体であってもあっという間に有意義な測定結果を出すことを保証します。

頑強な共焦点マルチピンホール技術により、清潔な部屋から本番環境まで最高精度の開発設定が可能となります。

µsurf customは、ISO規定下での地形及び粗度測定やミクロ測定、層厚の測定等に於いて理想的な表面測定器です。システムは、正確な三次元構造及び複素測定をマイクロメートル及びナノメートル寸法で測定できます。急角度のある表面や不連続な面の表面等でも再現性の高い測定が可能となります。

高ダイナミックレンジにより、高反射性や粗表面物質等様々な素材のスペクトルの表面測定が可能となりました。

ナノフォーカスは、貴方の要件通りにμsurf customを設計してくれます。

各々の測定システムは、測定が効果的且つ経済的に遂行できるよう顧客のニーズに応える形で仕立てられています。ハードウェアとソフトウェアは、アップグレードや改良が可能です。μsurf customは、貴方の自動化、測定の利便性や精密さ等の要求と共に成長していきます。弊社専門家が、貴方に最善のソリューションを提案致します。

マルチセンサー設定

µsurf customは、技術的上級レベルでのプロセス指向マルチセンサー設定が可能です。μsurf技術の地域に関する測定技術とμscanポイントセンサー搭載の回線走査表面分析が一体化しています。

二つの承認済ナノフォーカス技術を一つのシステムに統一することにより、ユーザーが各測定課題への最適センサーを選べるようになりました。

μscan技術は大規模測定エリアの分析にも非常に適している為、選択エリア又は正確に定義した測定地は、μsurf技術を採用することによってより精密に検査することが可能となります。

両センサーは一つのソフトウェアでコントロールでき、使いやすさを最優先に考えています。

応用例

µsurf customは、様々な業界や研究分野に柔軟に応用することができます。

対応可能例には、地形学や鉄鋼の表面粗度測定、ウェーハ、衣類やエンジン構成部品及び医療移植片の材料特性等が含まれます。形状及び粗度の測定では、DIN EN ISO基準に従って行います。

ナノフォーカスμsurf customの結果は、触覚システムに匹敵するものです。

顕微注射鋳造部材、シリコンガラス又はポリマー製微小光学、差動装置のミクロ幾何学等の形状と粗度が、何の問題もなしに測定及び評価することができます。更に、µsurf customは半導体及びエレクトロニクス産業界で接点の粗度、電子パッケージの測定、層厚又はウェーハ度数角度測定等に使用されています。

マイクロビア
µsurf技術が、小さく深いマイクロビアの形状を正確に捉えます。
割出し可能なインサート
急角度や凹凸表面でも瞬時に正確に測定できます。クレーターの量や深さ等を、測定データから得ることができます。
マイクロレンズ
マイクロレンズはµsurf技術にて、非破壊にて製造工程の様々な段階を三次元で測定することが可能です。
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