Precitec社 CHRocodile

Precitec社 白色焦点センサ CHRocodile 透明体形状と厚みを片側から測定できる小型白色変位計

特長

  • 10nmの高分解能を実現
  • 微小スポットサイズのプローブを採用
  • 小型プローブの採用で装置への組込みも容易
  • 豊富なプローブ種類を容易
  • 3D形状測定装置(μシリーズ)としての提供も可能

原理

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コントローラ内部に白色光源・波長解析モジュール・マイクロプロセッサを搭載し、光源からの光はファイバーを通りプローブによって集光し、測定物に照射されます。

測定物から反射された光から波長解析モジュールによって共焦点算出し、距離を算出します。CHR-150は光源・検出器をコントローラ内部に配置することで、超小型変位センサモジュールを実現しておりますので、自動検査装置など多チャンネルのセンサモジュールでの計測でも低コストでご利用いただけます。

仕様

形状測定
プローブ
膜厚測定
プローブ
測定範囲
(μm)
300 600 3000 6000 10000 25000 2~250
分解能
(nm)
10 20 100 200 300 800 10
精度
(μm)
0.1 0.2 1 2 3 8 0.1
WD
(mm)
4.5 6.5 22.5 36 70 80 22
スポット径
(μm)
5 4 12 16 24 25 40

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