µsurf solar

nanofocus社 μシリーズコンフォーカル三次元顕微鏡システム μSurf solar

µsurf solar

  • 1分間で12か所までの測定可能
  • ナノメートル単位の正確さ
  • 簡単で直観的な自動化
  • 分離チャンネルの正確な測定
  • 表面構造の特別分析
  • 光トラップ有りと無しにてフィンガー測定

ソーラー表面検査の解決法

µsurf solarは、研究及び製造分野に於ける様々な太陽光熱応用品に適用可能な高精度光学測定法です。柔軟性のある最適条件により、共焦点技術を使用して全ての測定課題がナノメートル単位で正確に実行可能となります。幅広い展開によって、データの最大限の安定を図り、高ダイナミック且つ直観的操作が可能となります。

µsurf solarは、事業関連問題の解決策として、太陽電池産業界のハードウェアからソフトウェアまで採用されています。例えば、太陽光熱モジュール全体の測定に必要となる測位テーブルがメートル単位まで使用可能です。支承面積210x210mmの真空チャックにより、傷をつけることなく土台が動いている間も太陽電池の安全な装着が可能になります。

知的アルゴリズムの産業固有ソフトウェア

μsurf solarは、分析、可変露光時間や様々な太陽電池表面の測定モードの特定アルゴリズムとモジュールに対する多目的解決策となります。ナノフォーカスは、太陽電池の反射特性に最適な専門的ソフトウェアを開発しました。ピラミッド定量化又は不具合検知ツールにより、ユーザーは困難な表面の測定を非常に簡単に行うことができます。

新たなアルゴリズムを併せ持った面積測定では、完全に安定性のある再現可能な三次元データを得ることができます。高度データと反射データを併せ持つことにより、縁部分も正確に測定できるため、指の高さや幅もナノメートル単位で正確に測定することができます。測定中より効果的な結果を得るために、測定システムは簡単且つ業種用オートメーションを搭載することができます。

総合DIC(微分干渉)顕微鏡

μsurf solarには、総合DIC(微分干渉)技術を採用しています。DICは、例えば角依存ピラミッド表示や汚物やウェーハの欠陥の早期検知等を可能にします。ハードウェア版とは異なり、ナノフォーカスが開発したソフトウェアDICを実行すれば、様々な利点が得られます。簡単に使用でき、異なる角度と同時に高度距離も表示できます。
ナノフォーカスの共焦点技術を持ち合わせるDIC顕微鏡は、「無限の焦点深度を持つ測定画像」というこの主要技術の利点を示しています。更に、光学は高開口で使用でき、任意光源を模倣することも可能です。共焦点技術を使用すれば、サンプルの色や反射性に関係なく最適計測結果が得られます。

応用例

µμsurf solarは、サンプルの準備の必要もなく非破壊分析を可能にしました。これが、μsurf solarが研究での使用だけでなく本番環境に適している理由です。三次元検査システムに於いては、表面に刻みがあったり反射防止コートが施されていても、それらが影響を及ぼすことはありません。ナノメートル単位での急傾斜地や複雑な地形や構造物等扱いにくい性質のサンプルであっても、μsurf solarなら僅か数秒で正確且つ再現可能な三次元測定データを得ることができます。

ピラミッド構造
µsurf solarは、ピラミッドの配分、角度、高さ、数量及び同質性を自動的に測定します。
分離チャンネル
µsurf solarは、チャンネルの正確な位置を分析し、素材摩耗や望まない溶融等の三次元データを送信します。
刻み線
µsurf solarは、刻み線の直径や切断面の平坦性や凹凸を測定します。
フィンガー
µsurf solarは、印刷導体経路の高さ、幅と規則性を検査します。

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