36.部分的コヒーレント結像の考え方 6

光学設計ノーツ36.部分的コヒーレント結像の考え方 6
部分的にコヒーレントな照明領域での照明系の収差の影響
今回も部分的にコヒーレントな照明、結像について考えさせていただきたい。
インコヒーレントな領域での照明形の収差について考えた前回の続きとなり、今回は部分的にコヒーレントな照明光学系の性質について考えさせていただきたい。
1.照明光学系による部分的コヒーレント照明
本連載前回と同じように半径ρの円盤光源Σの半径ρ’の像Σ’が光学系Lにより得られている。
この時、開口絞り面上の点を通過する光線の、入射瞳、射出瞳座標上における対応点をP1、P’1、そしてもう一組P2,P’2とする。
本連載前回、(35-19)と(35-20)式、(像面上のこの照明光学系による点光源像におけるエアリーディスク半径をr’Aとして)
照明光学系の射出瞳全体がコビーレントな状態・・・
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株式会社タイコ 牛山善太

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