2009/7/29(水)~ 第20回マイクロマシン展出展

展示終了:コンフォーカル3次元形状測定システム…μSurfexplorer
μSurfexplorerは白色LEDとNipkow diskを用いたコンフォーカル顕微鏡式の測定装置です。
最小測定分解能(Z軸)2nmと高精度な三次元形状測定を実現致します。
展示終了:レーザー共焦点3次元形状測定システム・・・μScanCF4
共焦点方式で凹凸形状高さ、幅測定を高精度に測定可能。
【日時】2009年7月29日(水)~7月31日(金)
【場所】東京ビックサイト NanofocusブースNo.C-18

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