新発売 コンフォーカル3次元形状測定システム

コンフォーカル3次元形状測定システム≪μSurf Explorer≫
NanoFocus社の新製品、μSurf Explorerを御紹介させていただきます。
μSurf Explorerは、白色LEDとNipkow diskを用いたコンフォーカル顕微鏡式の測定装置です。
最小測定分解能(Z軸)2nmと高精度な3次元形状測定が可能です。

測定原理

光源から照射された光は対物レンズで集光され測定対象物上で結像します。
結像された光の反射光は再度ピンホール上で結像し、ディテクターに受光します。
しかし、測定対象物で焦点が合っていない場合、ピンホール上でも焦点が合わないためディテクターに僅かな光しか戻りません。
この原理を応用し、対物レンズを上下に駆動することにより高さ情報を得ることが出来ます。
更にNipkow disk(30万個のピンホールディスク)を採用し、視野範囲の3次元形状を瞬時に測定します。

特徴

  • LED光源により長期寿命を保証。
  • Nipkow discの採用でリアルタイム性が向上。
  • 前処理せずに測定表面をダイレクトに測定。
  • 対物レンズの交換により視野が変更でき、Stitching機能で視野の拡大が可能。
  • 自動測定報告書の作成機能。

測定値をマルチページ表示で編集し、自動的に測定報告書を作成することができます。
測定報告書は連続した測定の分析をファイル別に残すことが可能です。
この機能を使うことにより、よりデーターの管理が簡素化されます。
新製品のμSurf Explorerは最小測定分解能2nmとなり、
大変コンパクト化され軽量となりました。(710x270x330mm,28Kg)
また、価格も従来と比べより安価になりお求めやすい価格で提供いたします。
サンプル測定、及び機器についてご不明な点が御座いましたら、弊社営業部までお問い合わせ下さい。

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